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 产品设备介绍书：C9000H总体水平线同步高压电机能够气体的轴承平台网站在重直表层和总体水平表层一起适用了高效的预刷新补救。它可作为重要的高刚度，是载重车和偏置负债应用领域的完美选定。内部设置有的总体水平线伺服高压电机同步高压电机适用了零齿槽边际效应的无铁芯机构，无能吸重力，作为十分领航的均匀锻炼。 的主要技术指标值：

行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驱动系统:  直线伺服电机 (PAEKER-9000-A-668H)
反馈:  非接触直线光栅尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
最大负载:  55.0 kg
连续保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量: <2 scfm
平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg